無(wú)塵車(chē)間 無(wú)塵室五大優(yōu)點(diǎn)
無(wú)塵室有五個(gè)特性 :
1.耐久性:
無(wú)塵室要有符合環(huán)境、無(wú)塵室內(nèi)部的清洗溶液及振動(dòng)、設(shè)備、空氣過(guò)濾系統(tǒng)的耐久材料。而耐久性,同時(shí)也依賴(lài)無(wú)塵室等級(jí)來(lái)建造。半導(dǎo)體傾向選擇鋁,基于它的耐久性,然而,它不是便宜的物質(zhì)。
2.清洗:
在制藥和生物工學(xué)工業(yè),無(wú)塵室的墻壁需要有容易被清洗和擦拭,直到防止濾過(guò)性病毒或細(xì)菌的污染之特性。
3.成本:
微電子建設(shè)費(fèi)可能花費(fèi)到$10億。fab能更快的被建造起來(lái),產(chǎn)品也就能更快達(dá)到這市場(chǎng)。 許多半導(dǎo)體公司的口號(hào)是較便宜和較好的。然而 "錢(qián)" 將成為一個(gè)很重要的考慮因素。
4.適應(yīng)性:
一些廠商認(rèn)為適應(yīng)性可節(jié)省一筆金錢(qián),而適應(yīng)性意指系統(tǒng)可任意移動(dòng)或改變而不會(huì)招大的損失。
5. 維護(hù)性:
對(duì)無(wú)塵室而言,較嚴(yán)格要求的部分為地板、天花板,以及墻壁的部分。至于維修的問(wèn)題,對(duì)材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應(yīng)有其優(yōu)先級(jí)。在應(yīng)用力面,天花板、地板及墻壁三者之中zui重要的為天花板,其包含 HEPA 及 ULPA 等濾網(wǎng),其可過(guò)濾掉房間的微粒子,且其常會(huì)因各個(gè)不同的需要,便其分開(kāi)來(lái),供應(yīng)各個(gè)不同區(qū)域的小房間,曾有人說(shuō) :若建造之預(yù)算因某種原因被限制,除了少數(shù)的小錢(qián)外,其天花板將趨于更貴的地步,其實(shí)天花板是一個(gè)頗復(fù)雜的系統(tǒng)其必須嚴(yán)格地過(guò)濾粒子,故其設(shè)計(jì)必須。